VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
1
 
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
2003
5
7
23
3
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
58
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
926
0.102587
0.104241
54
0.104241
71
0.104232
91
0.104224
82
0.104216
84
0.104207
99
0.104199
63
0.10419
77
0.104182
79
0.104174
55
0.104165
71
0.104157
104
0.104148
119
0.10414
94
0.104132
69
0.104123
88
0.104115
96
0.104107
60
0.104098
42
0.10409
92
0.104081
91
0.104073
93
0.104065
98
0.104056
100
0.104048
89
0.10404
89
0.104031
67
0.104023
70
0.104015
66
0.104006
86
0.103998
116
0.10399
83
0.103981
52
0.103973
68
0.103964
102
0.103956
63
0.103948
84
0.103939
66
0.103931
96
0.103923
98
0.103914
65
0.103906
79
0.103898
84
0.103889
57
0.103881
81
0.103873
76
0.103864
81
0.103856
83
0.103848
76
0.103839
93
0.103831
85
0.103823
80
0.103814
85
0.103806
108
0.103798
108
0.103789
101
0.103781
53
0.103773
73
0.103764
119
0.103756
102
0.103748
113
0.103739
101
0.103731
93
0.103723
104
0.103715
86
0.103706
114
0.103698
101
0.10369
84
0.103681
114
0.103673
130
0.103665
134
0.103656
138
0.103648
129
0.10364
143
0.103631
176
0.103623
186
0.103615
183
0.103607
254
0.103598
286
0.10359
318
0.103582
374
0.103573
410
0.103565
462
0.103557
483
0.103549
599
0.10354
615
0.103532
731
0.103524
739
0.103515
763
0.103507
800
0.103499
926
0.103491
886
0.103482
852
0.103474
864
0.103466
888
0.103457
812
0.103449
822
0.103441
735
0.103433
706
0.103424
615
0.103416
582
0.103408
539
0.1034
425
0.103391
403
0.103383
329
0.103375
294
0.103367
277
0.103358
243
0.10335
209
0.103342
151
0.103333
155
0.103325
119
0.103317
106
0.103309
89
0.1033
111
0.103292
83
0.103284
86
0.103276
96
0.103267
93
0.103259
61
0.103251
88
0.103243
105
0.103235
55
0.103226
58
0.103218
86
0.10321
89
0.103202
53
0.103193
70
0.103185
37
0.103177
94
0.103169
49
0.10316
56
0.103152
37
0.103144
42
0.103136
64
0.103127
87
0.103119
73
0.103111
61
0.103103
30
0.103095
79
0.103086
54
0.103078
41
0.10307
68
0.103062
43
0.103054
37
0.103045
66
0.103037
47
0.103029
55
0.103021
39
0.103012
42
0.103004
69
0.102996
42
0.102988
26
0.10298
61
0.102971
50
0.102963
49
0.102955
30
0.102947
49
0.102939
50
0.10293
18
0.102922
35
0.102914
43
0.102906
46
0.102898
42
0.102889
29
0.102881
44
0.102873
28
0.102865
50
0.102857
27
0.102849
54
0.10284
55
0.102832
43
0.102824
42
0.102816
48
0.102808
36
0.102799
37
0.102791
1
0.102783
17
0.102775
2
0.102767
49
0.102759
29
0.10275
8
0.102742
38
0.102734
42
0.102726
0
0.102718
19
0.10271
26
0.102701
30
0.102693
11
0.102685
16
0.102677
25
0.102669
35
0.102661
21
0.102653
16
0.102644
9
0.102636
14
0.102628
18
0.10262
36
0.102612
31
0.102604
6
0.102595
18
0.102587
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
2003
5
7
23
3
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
38
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
479
0.100982
0.102587
107
0.102587
84
0.102579
87
0.102571
93
0.102563
87
0.102555
105
0.102547
101
0.102538
99
0.10253
113
0.102522
85
0.102514
98
0.102506
82
0.102498
86
0.10249
88
0.102482
76
0.102473
93
0.102465
99
0.102457
88
0.102449
106
0.102441
107
0.102433
96
0.102425
112
0.102417
97
0.102408
94
0.1024
118
0.102392
99
0.102384
97
0.102376
104
0.102368
103
0.10236
103
0.102352
85
0.102344
111
0.102335
108
0.102327
76
0.102319
110
0.102311
87
0.102303
93
0.102295
84
0.102287
100
0.102279
100
0.102271
89
0.102263
107
0.102254
93
0.102246
101
0.102238
102
0.10223
111
0.102222
117
0.102214
114
0.102206
81
0.102198
96
0.10219
101
0.102182
115
0.102174
120
0.102165
122
0.102157
129
0.102149
110
0.102141
104
0.102133
127
0.102125
122
0.102117
113
0.102109
135
0.102101
152
0.102093
111
0.102085
131
0.102077
144
0.102069
151
0.102061
148
0.102052
163
0.102044
188
0.102036
163
0.102028
183
0.10202
197
0.102012
190
0.102004
199
0.101996
175
0.101988
215
0.10198
235
0.101972
227
0.101964
238
0.101956
246
0.101948
228
0.10194
231
0.101932
275
0.101924
249
0.101916
244
0.101907
319
0.101899
272
0.101891
299
0.101883
336
0.101875
336
0.101867
379
0.101859
380
0.101851
344
0.101843
422
0.101835
366
0.101827
431
0.101819
391
0.101811
422
0.101803
456
0.101795
473
0.101787
433
0.101779
428
0.101771
410
0.101763
479
0.101755
407
0.101747
462
0.101739
478
0.101731
415
0.101723
477
0.101715
459
0.101707
465
0.101699
412
0.101691
416
0.101683
423
0.101675
419
0.101667
378
0.101659
338
0.101651
398
0.101643
332
0.101635
394
0.101627
348
0.101619
320
0.101611
320
0.101603
307
0.101595
315
0.101587
280
0.101579
284
0.101571
234
0.101563
257
0.101555
201
0.101547
249
0.101539
248
0.101531
230
0.101523
228
0.101515
209
0.101507
232
0.101499
268
0.101491
226
0.101483
265
0.101475
273
0.101467
279
0.101459
306
0.101451
288
0.101443
294
0.101435
314
0.101427
335
0.101419
314
0.101411
316
0.101403
302
0.101395
296
0.101387
273
0.101379
241
0.101371
210
0.101363
232
0.101355
189
0.101347
191
0.101339
175
0.101331
130
0.101323
116
0.101315
105
0.101308
88
0.1013
70
0.101292
77
0.101284
59
0.101276
80
0.101268
45
0.10126
55
0.101252
47
0.101244
58
0.101236
26
0.101228
53
0.10122
27
0.101212
28
0.101204
39
0.101196
26
0.101188
46
0.10118
22
0.101172
32
0.101165
27
0.101157
16
0.101149
22
0.101141
14
0.101133
2
0.101125
12
0.101117
10
0.101109
9
0.101101
31
0.101093
21
0.101085
5
0.101077
1
0.101069
13
0.101061
2
0.101054
19
0.101046
0
0.101038
15
0.10103
24
0.101022
2
0.101014
1
0.101006
10
0.100998
21
0.10099
18
0.100982
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
2003
5
7
23
3
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
86
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
8
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3015
0.104916
0.106641
132
0.106641
85
0.106632
91
0.106623
79
0.106615
117
0.106606
81
0.106597
96
0.106588
72
0.10658
80
0.106571
81
0.106562
83
0.106553
31
0.106545
79
0.106536
76
0.106527
73
0.106518
58
0.10651
69
0.106501
71
0.106492
86
0.106483
49
0.106475
63
0.106466
62
0.106457
88
0.106448
62
0.10644
26
0.106431
21
0.106422
81
0.106414
0
0.106405
17
0.106396
66
0.106387
39
0.106379
48
0.10637
30
0.106361
57
0.106353
54
0.106344
89
0.106335
47
0.106326
58
0.106318
24
0.106309
75
0.1063
77
0.106292
74
0.106283
61
0.106274
18
0.106265
75
0.106257
57
0.106248
52
0.106239
68
0.106231
79
0.106222
18
0.106213
80
0.106205
53
0.106196
55
0.106187
51
0.106179
89
0.10617
42
0.106161
69
0.106153
155
0.106144
85
0.106135
87
0.106126
126
0.106118
99
0.106109
109
0.1061
128
0.106092
184
0.106083
209
0.106074
210
0.106066
219
0.106057
276
0.106048
299
0.10604
449
0.106031
556
0.106022
695
0.106014
828
0.106005
1013
0.105996
1165
0.105988
1425
0.105979
1638
0.105971
1912
0.105962
2091
0.105953
2386
0.105945
2689
0.105936
2762
0.105927
2977
0.105919
3015
0.10591
2902
0.105901
2979
0.105893
2964
0.105884
2783
0.105875
2543
0.105867
2350
0.105858
2097
0.105849
1899
0.105841
1595
0.105832
1357
0.105824
1153
0.105815
911
0.105806
746
0.105798
631
0.105789
509
0.10578
367
0.105772
368
0.105763
265
0.105755
223
0.105746
180
0.105737
185
0.105729
153
0.10572
138
0.105712
159
0.105703
102
0.105694
117
0.105686
85
0.105677
85
0.105668
47
0.10566
130
0.105651
77
0.105643
105
0.105634
57
0.105625
56
0.105617
58
0.105608
72
0.1056
76
0.105591
71
0.105582
87
0.105574
88
0.105565
79
0.105557
70
0.105548
91
0.105539
78
0.105531
60
0.105522
70
0.105514
95
0.105505
19
0.105497
98
0.105488
83
0.105479
77
0.105471
57
0.105462
90
0.105454
151
0.105445
38
0.105437
64
0.105428
73
0.105419
96
0.105411
80
0.105402
105
0.105394
78
0.105385
91
0.105377
54
0.105368
109
0.105359
75
0.105351
93
0.105342
104
0.105334
94
0.105325
95
0.105317
75
0.105308
45
0.1053
71
0.105291
103
0.105282
89
0.105274
121
0.105265
97
0.105257
101
0.105248
117
0.10524
83
0.105231
80
0.105223
41
0.105214
86
0.105206
72
0.105197
70
0.105188
67
0.10518
64
0.105171
65
0.105163
94
0.105154
73
0.105146
27
0.105137
102
0.105129
72
0.10512
64
0.105112
76
0.105103
57
0.105095
39
0.105086
76
0.105078
100
0.105069
47
0.105061
130
0.105052
84
0.105044
25
0.105035
86
0.105027
64
0.105018
53
0.10501
89
0.105001
87
0.104993
83
0.104984
82
0.104976
68
0.104967
83
0.104959
67
0.10495
55
0.104942
39
0.104933
59
0.104925
96
0.104916
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
2003
5
7
23
3
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
298
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
4090
0.126345
0.128793
271
0.128793
255
0.128781
264
0.128768
313
0.128756
293
0.128744
239
0.128731
248
0.128719
245
0.128706
230
0.128694
284
0.128681
299
0.128669
233
0.128656
237
0.128644
272
0.128632
262
0.128619
300
0.128607
228
0.128594
250
0.128582
188
0.128569
304
0.128557
247
0.128545
246
0.128532
211
0.12852
226
0.128507
248
0.128495
190
0.128483
206
0.12847
283
0.128458
262
0.128445
208
0.128433
228
0.128421
245
0.128408
283
0.128396
246
0.128383
251
0.128371
294
0.128359
272
0.128346
280
0.128334
203
0.128321
266
0.128309
253
0.128297
271
0.128284
287
0.128272
268
0.12826
274
0.128247
311
0.128235
342
0.128223
310
0.12821
360
0.128198
304
0.128185
360
0.128173
369
0.128161
373
0.128148
389
0.128136
428
0.128124
431
0.128111
443
0.128099
408
0.128087
420
0.128074
499
0.128062
430
0.12805
522
0.128037
487
0.128025
374
0.128013
428
0.128
434
0.127988
444
0.127976
421
0.127963
362
0.127951
400
0.127939
360
0.127927
375
0.127914
357
0.127902
409
0.12789
356
0.127877
363
0.127865
412
0.127853
393
0.12784
381
0.127828
445
0.127816
466
0.127804
556
0.127791
523
0.127779
541
0.127767
591
0.127755
727
0.127742
815
0.12773
988
0.127718
1110
0.127705
1219
0.127693
1400
0.127681
1659
0.127669
1879
0.127656
2079
0.127644
2512
0.127632
2819
0.12762
3193
0.127607
3412
0.127595
3670
0.127583
3924
0.127571
4043
0.127558
4090
0.127546
3837
0.127534
3837
0.127522
3405
0.127509
3241
0.127497
2765
0.127485
2432
0.127473
2134
0.127461
1670
0.127448
1386
0.127436
1195
0.127424
879
0.127412
787
0.127399
642
0.127387
524
0.127375
499
0.127363
383
0.127351
318
0.127338
238
0.127326
260
0.127314
259
0.127302
251
0.12729
185
0.127277
218
0.127265
201
0.127253
182
0.127241
153
0.127229
120
0.127217
167
0.127204
117
0.127192
138
0.12718
121
0.127168
119
0.127156
65
0.127144
114
0.127131
74
0.127119
125
0.127107
113
0.127095
78
0.127083
112
0.127071
54
0.127058
108
0.127046
47
0.127034
134
0.127022
119
0.12701
88
0.126998
92
0.126986
90
0.126973
97
0.126961
110
0.126949
105
0.126937
107
0.126925
58
0.126913
63
0.126901
84
0.126889
24
0.126876
33
0.126864
113
0.126852
62
0.12684
41
0.126828
78
0.126816
75
0.126804
31
0.126792
40
0.12678
91
0.126768
8
0.126755
6
0.126743
80
0.126731
49
0.126719
65
0.126707
76
0.126695
40
0.126683
40
0.126671
92
0.126659
21
0.126647
94
0.126635
15
0.126622
71
0.12661
78
0.126598
46
0.126586
76
0.126574
61
0.126562
30
0.12655
83
0.126538
30
0.126526
53
0.126514
72
0.126502
29
0.12649
91
0.126478
47
0.126466
0
0.126454
72
0.126442
79
0.12643
88
0.126418
79
0.126406
95
0.126394
75
0.126381
50
0.126369
63
0.126357
89
0.126345
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after H2O2 + NH3 solns
2003
5
7
23
3
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
546
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
9710
0.164536
0.168566
655
0.168566
672
0.168545
629
0.168524
623
0.168504
605
0.168483
593
0.168463
596
0.168442
572
0.168421
613
0.168401
551
0.16838
528
0.16836
523
0.168339
471
0.168319
518
0.168298
548
0.168277
572
0.168257
514
0.168236
508
0.168216
503
0.168195
469
0.168175
435
0.168154
513
0.168134
438
0.168113
423
0.168093
394
0.168072
451
0.168052
464
0.168031
436
0.168011
389
0.16799
417
0.16797
338
0.167949
372
0.167929
273
0.167908
369
0.167888
301
0.167868
384
0.167847
290
0.167827
283
0.167806
381
0.167786
248
0.167765
261
0.167745
275
0.167724
255
0.167704
312
0.167684
256
0.167663
304
0.167643
219
0.167622
226
0.167602
241
0.167582
227
0.167561
149
0.167541
189
0.167521
210
0.1675
181
0.16748
202
0.167459
234
0.167439
235
0.167419
205
0.167398
251
0.167378
220
0.167358
173
0.167337
149
0.167317
174
0.167297
200
0.167276
194
0.167256
295
0.167236
169
0.167216
241
0.167195
225
0.167175
264
0.167155
231
0.167134
288
0.167114
252
0.167094
274
0.167074
213
0.167053
247
0.167033
347
0.167013
347
0.166992
271
0.166972
412
0.166952
388
0.166932
390
0.166911
385
0.166891
484
0.166871
607
0.166851
652
0.166831
818
0.16681
878
0.16679
1005
0.16677
1144
0.16675
1436
0.16673
1677
0.166709
1920
0.166689
2272
0.166669
2622
0.166649
2973
0.166629
3612
0.166609
4139
0.166588
4522
0.166568
5060
0.166548
5740
0.166528
6329
0.166508
6903
0.166488
7620
0.166467
8290
0.166447
8579
0.166427
8863
0.166407
9171
0.166387
9669
0.166367
9651
0.166347
9710
0.166327
9445
0.166307
9518
0.166286
9043
0.166266
8928
0.166246
8482
0.166226
7950
0.166206
7569
0.166186
7085
0.166166
6628
0.166146
6131
0.166126
5495
0.166106
4979
0.166086
4525
0.166066
4368
0.166046
3625
0.166026
3320
0.166006
2813
0.165986
2542
0.165966
2125
0.165946
1894
0.165926
1658
0.165906
1413
0.165886
1193
0.165866
1116
0.165846
831
0.165826
754
0.165806
645
0.165786
538
0.165766
510
0.165746
409
0.165726
383
0.165706
321
0.165686
214
0.165666
245
0.165646
260
0.165626
199
0.165606
176
0.165586
212
0.165566
190
0.165546
137
0.165526
119
0.165506
192
0.165486
94
0.165467
121
0.165447
152
0.165427
144
0.165407
115
0.165387
149
0.165367
132
0.165347
72
0.165327
111
0.165307
150
0.165288
156
0.165268
145
0.165248
163
0.165228
124
0.165208
58
0.165188
104
0.165168
132
0.165149
132
0.165129
48
0.165109
113
0.165089
173
0.165069
103
0.165049
123
0.16503
127
0.16501
92
0.16499
57
0.16497
79
0.16495
91
0.164931
153
0.164911
167
0.164891
164
0.164871
82
0.164852
90
0.164832
103
0.164812
127
0.164792
129
0.164773
32
0.164753
187
0.164733
59
0.164713
133
0.164694
135
0.164674
128
0.164654
95
0.164634
171
0.164615
0
0.164595
134
0.164575
101
0.164556
63
0.164536
end of experiment
